為了分析白光反射光譜的測量范圍，開展了不同壁厚的靶丸殼層白光反射光譜測量實驗,。圖是不同殼層厚度靶丸的白光反射光譜測量曲線,，如圖所示，對于殼層厚度30μm的靶丸,，其白光反射光譜各譜峰非常密集,、干涉級次數(shù)值大；此外,，由于靶丸殼層的吸收,，壁厚較大的靶丸信號強度相對較弱。隨著靶丸殼層厚度的進一步增加,，其白光反射光譜各譜峰將更加密集,，難以實現(xiàn)對各干涉譜峰波長的測量。為實現(xiàn)較大厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測量,，需采用紅外的寬譜光源和光譜探測器,。對于殼層厚度為μm的靶丸,，測量的波峰相對較少，容易實現(xiàn)靶丸殼層白光反射光譜譜峰波長的準確測量,；隨著靶丸殼層厚度的進一步減小,，兩干涉信號之間的光程差差異非常小，以至于他們的光譜信號中只有一個干涉波峰,，基于峰值探測的白光反射光譜方法難以實現(xiàn)其厚度的測量,；為實現(xiàn)較小厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測量，可采用紫外的寬譜光源和光譜探測器提升其探測厚度下限,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的非接觸式測量,。原裝膜厚儀詳情

光譜法是以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的一種薄膜厚度測量方法，分為反射法和透射法兩類[12],。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應(yīng),，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度之間是一一對應(yīng)關(guān)系,。因此,，根據(jù)這一光譜特性可以得到薄膜的厚度以及光學(xué)參數(shù)。光譜法的優(yōu)點是可以同時測量多個參數(shù)且可以有效的排除解的多值性,，測量范圍廣,，是一種無損測量技術(shù)；缺點是對樣品薄膜表面條件的依賴性強,，測量穩(wěn)定性較差,，因而測量精度不高；對于不同材料的薄膜需要使用不同波段的光源等,。目前,，這種方法主要應(yīng)用于有機薄膜的厚度測量。原裝膜厚儀詳情白光干涉膜厚測量技術(shù)可以通過對干涉曲線的分析實現(xiàn)對薄膜的厚度測量,。

利用包絡(luò)線法計算薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度,，但目前看來包絡(luò)法還存在很多不足，包絡(luò)線法需要產(chǎn)生干涉波動,，要求在測量波段內(nèi)存在多個干涉極值點,，且干涉極值點足夠多，精度才高,。理想的包絡(luò)線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點建立的,，在沒有正確方法建立包絡(luò)線時，通常使用拋物線插值法建立,，這樣造成的誤差較大,。包絡(luò)法對測量對象要求高，如果薄膜較薄或厚度不足情況下,，會造成干涉條紋減少,，干涉波峰個數(shù)較少,，要利用干涉極值點建立包絡(luò)線就越困難，且利用拋物線插值法擬合也很困難,，從而降低該方法的準確度,。其次，薄膜吸收的強弱也會影響該方法的準確度,，對于吸收較強的薄膜,，隨干涉條紋減少，極大值與極小值包絡(luò)線逐漸匯聚成一條曲線,，該方法就不再適用,。因此，包絡(luò)法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品,。

針對靶丸自身獨特的特點及極端實驗條件需求,，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復(fù)雜。如何精確地測定靶丸的光學(xué)參數(shù),，一直是激光聚變研究者非常關(guān)注的課題,。由于光學(xué)測量方法具有無損、非接觸,、測量效率高,、操作簡便等優(yōu)越性，靶丸參數(shù)測量通常采用光學(xué)測量方式,。常用的光學(xué)參數(shù)測量手段很多,，目前，常用于測量靶丸幾何參數(shù)或光學(xué)參數(shù)的測量方法有白光干涉法,、光學(xué)顯微干涉法,、激光差動共焦法等。靶丸殼層折射率是沖擊波分時調(diào)控實驗研究中的重要參數(shù),，因此,，精密測量靶丸殼層折射率十分有意義,。而常用的折射率測量方法[13]，如橢圓偏振法,、折射率匹配法、白光光譜法,、布儒斯特角法等。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以通過對干涉曲線的分析實現(xiàn)對薄膜的厚度分布的測量和分析,。

白光光譜法克服了干涉級次的模糊識別問題,，具有動態(tài)測量范圍大,，連續(xù)測量時波動范圍小的特點,，但在實際測量中,，由于測量誤差,、儀器誤差,、擬合誤差等因素，干涉級次的測量精度仍其受影響,，會出現(xiàn)干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現(xiàn)象。導(dǎo)致公式計算得到的干擾級次m值與實際譜峰干涉級次m'(整數(shù))之間有誤差,。為得到準確的干涉級次，本文依據(jù)干涉級次的連續(xù)特性設(shè)計了以下校正流程圖,，獲得了靶丸殼層光學(xué)厚度的精確值,。導(dǎo)入白光干涉光譜測量曲線,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的大范圍測量和分析,。新型膜厚儀供應(yīng)

白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對復(fù)雜薄膜結(jié)構(gòu)的測量。原裝膜厚儀詳情

在初始相位為零的情況下,，當(dāng)被測光與參考光之間的光程差為零時,，光強度將達到最大值,。為探測兩個光束之間的零光程差位置，需要精密Z向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動或移動載物臺,，垂直掃描過程中，用探測器記錄下干涉光強,，可得白光干涉信號強度與Z向掃描位置（兩光束光程差）之間的變化曲線,。干涉圖像序列中某波長處的白光信號強度隨光程差變化示意圖,，曲線中光強極大值位置即為零光程差位置，通過零過程差位置的精密定位,，即可實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量；通過確定最大值對應(yīng)的Z向位置可獲得被測樣品表面的三維高度,。原裝膜厚儀詳情

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