高采樣速率光譜共焦按需定制
由于每一個(gè)波長都可以固定一個(gè)距離值,，因此,，通過將光譜山線峰值波長確定下來，就可以將精確的距離值推算出來,。假設(shè)傳感器與物體表面存在相對(duì)移動(dòng),，此時(shí)物體表面的中心點(diǎn)恰好處在單色光（A1）的像點(diǎn)處，可以作出光譜儀探測(cè)到的光譜曲線,。通過測(cè)量得到不同的波長值,，可以將物體表面不同點(diǎn)之間的相對(duì)位移值計(jì)算出來。如果配上精細(xì)的掃描機(jī)構(gòu),，就可以對(duì)整體的二維表面輪廓及形貌進(jìn)行精確的測(cè)量,。相比其他傳統(tǒng)的位移傳感器，光譜共焦傳感器憑借獨(dú)特的測(cè)量原理,，具有測(cè)量效率高,、精度高、體積小,、非接觸等特點(diǎn),，在各個(gè)領(lǐng)域都得到了大量的應(yīng)用。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料的變化情況,，對(duì)于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義,。高采樣速率光譜共焦按需定制
光譜共焦位移傳感器原理，由光源,、透鏡組,、控制箱等組成。光源發(fā)出1束白光,，透鏡組先將白光發(fā)散成一系列波長不同的單色光,，然后經(jīng)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成1個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長對(duì)應(yīng)1個(gè)軸向位置,。當(dāng)樣品處于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),，樣品表面將聚焦后的光反射回去,。這些反射回來的光經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀。因此,，只有焦點(diǎn)位置正好處于樣品表面的單色光才能聚焦在狹縫上,。單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識(shí)別并 得到樣品的軸向位置,。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率,，滿足薄膜厚度分布測(cè)量要求。江蘇光譜共焦性價(jià)比高光譜共焦厚度檢測(cè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)厚度的非接觸式測(cè)量,。
集成于2D掃描系統(tǒng)上,，光譜共焦位移傳感器可以提供針對(duì)負(fù)載表面形貌的2D和高度測(cè)量數(shù)據(jù)。創(chuàng)新的光譜共焦原理使本傳感器可以直接透過透明件工件的前后表面測(cè)量厚度,，整個(gè)過程需要使用一個(gè)傳感器從工件的一個(gè)側(cè)面測(cè)量,。相對(duì)于三角反射原理的激光位移傳感器，本儀器因采用同軸光,，從而可以更有效地測(cè)量弧工件的厚度,。高采樣頻率，小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口,，使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中,，實(shí)現(xiàn)線上檢測(cè)。由于采用超高的采樣頻率和超高精度,光譜共焦傳感器可以對(duì)震動(dòng)物件進(jìn)行測(cè)量,傳感器采用的非接觸設(shè)計(jì),，避免測(cè)量過程中對(duì)震動(dòng)物件造成干擾,，同時(shí)可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析。
主要是對(duì)光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)后的誤差進(jìn)行分析,。各自利用干涉儀與高精密測(cè)長機(jī)對(duì)光譜共焦傳感器開展測(cè)量，用曲面測(cè)針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測(cè)針,，以確保光譜共焦傳感器在測(cè)量時(shí)安裝精密度,，隨后拆換平面圖歪頭，對(duì)光譜共焦傳感器開展校準(zhǔn),。用小二乘法對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行解決,，獲得測(cè)量數(shù)據(jù)庫的離散系統(tǒng)誤差。結(jié)果顯示：高精密測(cè)長機(jī)校準(zhǔn)后的離散系統(tǒng)誤差為 0.030%,，激光器于涉儀校準(zhǔn)時(shí)的分析線形誤差為0.038%,。利用小二乘法開展數(shù)據(jù)處理方法及離散系統(tǒng)誤差的計(jì)算，減少校準(zhǔn)時(shí)產(chǎn)生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,，提高對(duì)光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)精密度,。光譜共焦技術(shù)可以對(duì)材料表面和內(nèi)部進(jìn)行非接觸式的檢測(cè)和分析。
光譜共焦是一種綜合了光學(xué)成像和光譜分析技術(shù)的高精度位移傳感器,，在3C（計(jì)算機(jī),、通信和消費(fèi)電子）電子行業(yè)中應(yīng)用極為大量,。光譜共焦傳感器可以用于智能手機(jī)內(nèi)線性馬達(dá)的位移測(cè)量，通過實(shí)時(shí)監(jiān)控和控制線性馬達(dá)的位移,，可大幅提高智能手機(jī)的定位功能和相機(jī)的成像精度,。也能測(cè)量手機(jī)屏的曲面角度、厚度等,。平板電腦內(nèi)各種移動(dòng)結(jié)構(gòu)部件的位移和振動(dòng)檢測(cè)是平板電腦生產(chǎn)過程中非常重要的環(huán)節(jié),。光譜共焦傳感器可以通過對(duì)平板電腦內(nèi)的各種移動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制元件進(jìn)行精密位移,、振動(dòng),、形變和應(yīng)力等參數(shù)的測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)其制造精度和運(yùn)行狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控,。光譜共焦技術(shù)可以測(cè)量位移,，利用返回光譜的峰值波長位置。江蘇光譜共焦性價(jià)比高
光譜共焦技術(shù)的發(fā)展將促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,。高采樣速率光譜共焦按需定制
光譜共焦傳感器可以提供結(jié)合高精度和高速的新現(xiàn)代技術(shù),。這些特性使這些多功能距離和位移傳感器非常適合工業(yè) 4.0 的高要求。在工業(yè) 4.0 的世界中,，傳感器必須能夠進(jìn)行高速測(cè)量并提供高精度結(jié)果,，以確保可靠的質(zhì)量保證,。光學(xué)測(cè)量技術(shù)是非接觸式的,，于目標(biāo)材料分開和表面特性，因此它們對(duì)生產(chǎn)和檢測(cè)過程變得越來越重要,。這是“實(shí)時(shí)”生產(chǎn)過程中的一個(gè)主要優(yōu)勢(shì),，在這種過程中，觸覺測(cè)量技術(shù)正在發(fā)揮其極限,，尤其是當(dāng)目標(biāo)位于難以接近的區(qū)域時(shí),。光譜共焦傳感器提供突破性的技術(shù)、高精度和高速度,。此外,，共焦色差測(cè)量技術(shù)允許進(jìn)行距離測(cè)量、透明材料的多層厚度測(cè)量,、強(qiáng)度評(píng)估以及鉆孔和凹槽內(nèi)的測(cè)量,。測(cè)量過程是無磨損的、非接觸式的,，并且實(shí)際上與表面特性無關(guān),。由于測(cè)量光斑尺寸極小，即使是非常小的物體也能被檢測(cè)到,。因此,，共焦色度測(cè)量技術(shù)適用于在線質(zhì)量控制,。高采樣速率光譜共焦按需定制
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