硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測(cè)量速度,，以及±60°的測(cè)量角度,，能夠適應(yīng)鏡面,、透明、半透明,、膜層、金屬粗糙面,、多層玻璃等材料表面,，支持485、USB,、以太網(wǎng),、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。,。我們主要測(cè)量太陽(yáng)能光伏板硅片刪線的厚度,，所以我們這次用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量。柵線測(cè)量方法：首先我們將需要掃描測(cè)量的硅片選擇三個(gè)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1,，用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量,，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)掃描測(cè)量（由于柵線不是一個(gè)平整面,，自身有一定的曲率,，對(duì)測(cè)量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大）光譜共焦技術(shù)可以測(cè)量位移，利用返回光譜的峰值波長(zhǎng)位置,。南京光譜共焦性價(jià)比高

光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其具有測(cè)量精度高,、測(cè)量速度快、可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)而被大量應(yīng)用于工業(yè)級(jí)測(cè)量,。讓我們先來(lái)看一下光譜共焦技術(shù)的起源和光譜共焦技術(shù)在精密幾何量計(jì)量測(cè)試中的成熟典型應(yīng)用,。共焦顯微術(shù)的概念首先是由美國(guó)的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建臺(tái)共焦顯微鏡, 并于1957年申請(qǐng)了專利。自20世紀(jì)90年代, 隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展, 共焦顯微術(shù)成了研究的熱點(diǎn),，得到快速的發(fā)展,。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái),其無(wú)需軸向掃描, 直接由波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息, 從而大幅提高測(cè)量速度。 而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來(lái)出現(xiàn)的一種高精度,、 非接觸式的新型傳感器, 目前精度上可達(dá)nm量級(jí),。 共焦測(cè)量術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角,、測(cè)量速度快,、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低,、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),，迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器，在生物醫(yī)學(xué),、材料科學(xué),、半導(dǎo)體制造、 表面工程研究,、 精密測(cè)量等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。溫州光譜共焦品牌企業(yè)連續(xù)光譜位置測(cè)量方法可以實(shí)現(xiàn)光譜的位置測(cè)量,。

光譜共焦傳感器專為需要高精度的測(cè)量任務(wù)而設(shè)計(jì),，通常是研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療,、半導(dǎo)體制造,、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對(duì)高反射,、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測(cè)量外,，這些傳感器還可用于測(cè)量深色、漫射材料,，以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y(cè)量,。傳感器還受益于較大的間隔距離（高達(dá) 100 毫米）,，從而為用戶在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性。此外,，傳感器的傾斜角度已顯著增加,，這在測(cè)量變化的表面特征時(shí)提供了更好的性能。

采用對(duì)比測(cè)試方法,，首先對(duì)基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度進(jìn)行了考核，圖5(a)是靶丸外表面輪廓的原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀的測(cè)量曲線,。為了便于比較,，將原子力顯微鏡輪廓儀的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移,。從圖中可以看出,，二者的低階輪廓整體相似，局部的輪廓信息存在一定的偏差,，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測(cè)量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,，白光共焦光譜的信噪比較原子力低,，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測(cè)量,。圖5(b)是靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)的功率譜曲線,，從圖中可以看出，在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),，兩種方法的測(cè)量結(jié)果一致性較好,，當(dāng)模數(shù)大于100時(shí)，白光共焦光譜的測(cè)量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測(cè)量數(shù)據(jù),，這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測(cè)量數(shù)據(jù)信噪比相對(duì)較差的特點(diǎn),。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個(gè)量級(jí)，同時(shí),，受環(huán)境振動(dòng)、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,，共焦光譜檢測(cè)數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右,。該技術(shù)可以采集樣品不同深度處的光譜信息進(jìn)行測(cè)量。

集成于2D掃描系統(tǒng)上,，光譜共焦位移傳感器可以提供針對(duì)負(fù)載表面形貌的2D和高度測(cè)量數(shù)據(jù),。創(chuàng)新的光譜共焦原理使本傳感器可以直接透過(guò)透明件工件的前后表面測(cè)量厚度，整個(gè)過(guò)程需要使用一個(gè)傳感器從工件的一個(gè)側(cè)面測(cè)量,。相對(duì)于三角反射原理的激光位移傳感器,，本儀器因采用同軸光，從而可以更有效地測(cè)量弧工件的厚度,。高采樣頻率,，小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口，使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中,，實(shí)現(xiàn)線上檢測(cè)。由于采用超高的采樣頻率和超高精度,光譜共焦傳感器可以對(duì)震動(dòng)物件進(jìn)行測(cè)量,傳感器采用的非接觸設(shè)計(jì),，避免測(cè)量過(guò)程中對(duì)震動(dòng)物件造成干擾,，同時(shí)可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析,。光譜共焦技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的觀察和分析。嘉興光譜共焦誠(chéng)信企業(yè)推薦

光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測(cè)量的優(yōu)勢(shì),，可以在微觀尺度下進(jìn)行精確的位移測(cè)量,。南京光譜共焦性價(jià)比高

主要是對(duì)光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)后的誤差進(jìn)行分析。各自利用干涉儀與高精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)對(duì)光譜共焦傳感器開(kāi)展測(cè)量,，用曲面測(cè)針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測(cè)針,，以確保光譜共焦傳感器在測(cè)量時(shí)安裝精密度,，隨后拆換平面圖歪頭,，對(duì)光譜共焦傳感器開(kāi)展校準(zhǔn),。用小二乘法對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行解決，獲得測(cè)量數(shù)據(jù)庫(kù)的離散系統(tǒng)誤差,。結(jié)果顯示：高精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)校準(zhǔn)后的離散系統(tǒng)誤差為 0.030%,，激光器于涉儀校準(zhǔn)時(shí)的分析線形誤差為0.038%,。利用小二乘法開(kāi)展數(shù)據(jù)處理方法及離散系統(tǒng)誤差的計(jì)算,，減少校準(zhǔn)時(shí)產(chǎn)生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,，提高對(duì)光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)精密度。南京光譜共焦性價(jià)比高

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