懷柔區(qū)高精度膜厚儀
本章主要介紹了基于白光反射光譜和白光垂直掃描干涉聯(lián)用的靶丸殼層折射率測(cè)量方法,。該方法利用白光反射光譜測(cè)量靶丸殼層光學(xué)厚度,,利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測(cè)量光線(xiàn)通過(guò)靶丸殼層后的光程增量,二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù),。在實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理方面,,為解決白光干涉光譜中波峰位置難以精確確定和單極值點(diǎn)判讀可能存在干涉級(jí)次誤差的問(wèn)題,提出MATLAB曲線(xiàn)擬合測(cè)定極值點(diǎn)波長(zhǎng)以及利用干涉級(jí)次連續(xù)性進(jìn)行干涉級(jí)次判定的數(shù)據(jù)處理方法,。應(yīng)用碳?xì)?CH)薄膜對(duì)測(cè)量結(jié)果的可靠性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以對(duì)薄膜的表面和內(nèi)部進(jìn)行聯(lián)合測(cè)量和分析。懷柔區(qū)高精度膜厚儀
光譜法是以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的一種薄膜厚度測(cè)量方法,,分為反射法和透射法兩類(lèi)[12],。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會(huì)引起多光束干涉效應(yīng),不同特性的薄膜材料的反射率和透過(guò)率曲線(xiàn)是不同的,,并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度之間是一一對(duì)應(yīng)關(guān)系,。因此,根據(jù)這一光譜特性可以得到薄膜的厚度以及光學(xué)參數(shù)。光譜法的優(yōu)點(diǎn)是可以同時(shí)測(cè)量多個(gè)參數(shù)且可以有效的排除解的多值性,,測(cè)量范圍廣,,是一種無(wú)損測(cè)量技術(shù);缺點(diǎn)是對(duì)樣品薄膜表面條件的依賴(lài)性強(qiáng),,測(cè)量穩(wěn)定性較差,,因而測(cè)量精度不高;對(duì)于不同材料的薄膜需要使用不同波段的光源等,。目前,,這種方法主要應(yīng)用于有機(jī)薄膜的厚度測(cè)量。長(zhǎng)沙膜厚儀詳情白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以通過(guò)對(duì)干涉曲線(xiàn)的分析實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的厚度測(cè)量,。
根據(jù)以上分析可知,,白光干涉時(shí)域解調(diào)方案的優(yōu)點(diǎn)是:①能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)量;②抗干擾能力強(qiáng),,系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動(dòng),,光源的波長(zhǎng)漂移以及外界環(huán)境對(duì)光纖的擾動(dòng)等因素?zé)o關(guān);③測(cè)量精度與零級(jí)干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關(guān),;④結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,,成本較低。但是,,時(shí)域解調(diào)方法需要借助掃描部件移動(dòng)干涉儀一端的反射鏡來(lái)進(jìn)行相位補(bǔ)償,,所以?huà)呙柩b置的分辨率將影響系統(tǒng)的精度。采用這種解調(diào)方案的測(cè)量分辨率一般是幾個(gè)微米,,達(dá)到亞微米的分辨率,,主要受機(jī)械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性限制。文獻(xiàn)[46]所報(bào)道的位移掃描的分辨率可以達(dá)到0.54μm,。當(dāng)所測(cè)光程差較小時(shí),,F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近,難以區(qū)分,,此時(shí)時(shí)域解調(diào)方案的應(yīng)用受到限制,。
干涉法與分光光度法都是利用相干光形成等厚干涉條紋的原理來(lái)確定薄膜厚度和折射率,然而與薄膜自發(fā)產(chǎn)生的等傾干涉不同,,干涉法是通過(guò)設(shè)置參考光路,,形成與測(cè)量光路間的干涉條紋,因此其相位信息包含兩個(gè)部分,,分別是由參考平面和測(cè)量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜內(nèi)部多次反射引起的膜厚相位,。干涉法測(cè)量光路使用面陣CCD接收參考平面和測(cè)量平面間相干波面的干涉光強(qiáng)分布,不同于以上三種點(diǎn)測(cè)量方式,,可一次性生成薄膜待測(cè)區(qū)域的表面形貌信息,,但同時(shí)由于存在大量軸向掃描和數(shù)據(jù)解算,,完成單次測(cè)量的時(shí)間相對(duì)較長(zhǎng)。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的非接觸式測(cè)量,。
自上世紀(jì)60年代起,,利用X及β射線(xiàn),、近紅外光源開(kāi)發(fā)的在線(xiàn)薄膜測(cè)厚系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于西方先進(jìn)國(guó)家的工業(yè)生產(chǎn)線(xiàn)中,。20世紀(jì)70年代后,為滿(mǎn)足日益增長(zhǎng)的質(zhì)檢需求,,電渦流、電磁電容,、超聲波、晶體振蕩等多種膜厚測(cè)量技術(shù)相繼問(wèn)世,。90年代中期,隨著離子輔助,、離子束濺射、磁控濺射,、凝膠溶膠等新型薄膜制備技術(shù)取得巨大突破,,以橢圓偏振法和光度法為展示的光學(xué)檢測(cè)技術(shù)以高精度,、低成本、輕便環(huán)保,、高速穩(wěn)固為研發(fā)方向不斷迭代更新,,迅速占領(lǐng)日用電器及工業(yè)生產(chǎn)市場(chǎng),,并發(fā)展出依據(jù)用戶(hù)需求個(gè)性化定制產(chǎn)品的能力,。其中,對(duì)于市場(chǎng)份額占比較大的微米級(jí)薄膜,除要求測(cè)量系統(tǒng)不僅具有百納米級(jí)的測(cè)量準(zhǔn)確度及分辨力以外,,還要求測(cè)量系統(tǒng)在存在不規(guī)則環(huán)境干擾的工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)下,,具備較高的穩(wěn)定性和抗干擾能力,。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的快速測(cè)量和分析。懷柔區(qū)高精度膜厚儀
白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以通過(guò)對(duì)干涉圖像的分析實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的形貌測(cè)量,。懷柔區(qū)高精度膜厚儀
白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術(shù)測(cè)量的局限性,。白光掃描干涉法采用白光作為光源,白光作為一種寬光譜的光源,,相干長(zhǎng)度較短,,因此發(fā)生干涉的位置只能在很小的空間范圍內(nèi)。而且在白光干涉時(shí),,有一個(gè)確切的零點(diǎn)位置,。測(cè)量光和參考光的光程相等時(shí),所有波段的光都會(huì)發(fā)生相長(zhǎng)干涉,,這時(shí)就能觀(guān)測(cè)到有一個(gè)很明亮的零級(jí)條紋,,同時(shí)干涉信號(hào)也出現(xiàn)最大值,通過(guò)分析這個(gè)干涉信號(hào),,就能得到表面上對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù)點(diǎn)的相對(duì)高度,從而得到被測(cè)物體的幾何形貌,。白光掃描干涉術(shù)是通過(guò)測(cè)量干涉條紋來(lái)完成的,,而干涉條紋的清晰度直接影響測(cè)試精度。因此,,為了提高精度,,就需要更為復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng),這使得條紋的測(cè)量變成一項(xiàng)費(fèi)力又費(fèi)時(shí)的工作,。懷柔區(qū)高精度膜厚儀
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在安裝空氣能設(shè)備時(shí),用戶(hù)應(yīng)該充分考慮到設(shè)備的維護(hù)和保養(yǎng)問(wèn)題,??諝饽茉O(shè)備作為一種復(fù)雜的能源轉(zhuǎn)換設(shè)備,需要定期的維護(hù)和保養(yǎng)以確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,。首先,,用戶(hù)應(yīng)該為設(shè)備提供一個(gè)良好的運(yùn)行環(huán)境。設(shè)備應(yīng)放置在通風(fēng) ,。
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恒星潤(rùn)滑脂與其他同類(lèi)潤(rùn)滑脂相比具有以下優(yōu)勢(shì):高溫性能好:恒星潤(rùn)滑脂具有出色的高溫性能,,可以在高溫環(huán)境下為軸承提供有效的潤(rùn)滑保護(hù)。相比之下,,一些同類(lèi)潤(rùn)滑脂在高溫環(huán)境下容易變質(zhì),,影響潤(rùn)滑效果??垢g性強(qiáng): ,。
固定球閥是一種適用于各種流體介質(zhì)的控制和輸送的設(shè)備。它采用球體作為閥門(mén),,通過(guò)旋轉(zhuǎn)球體來(lái)控制流體的流動(dòng),。固定球閥具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便,、密封性好等特點(diǎn),,廣泛應(yīng)用于石油化工、化學(xué)工業(yè),、電力工業(yè),、制藥工業(yè),、 。